Arc¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Áø°ø¹°¸®ÁõÂø(Arc Vacuum Physical Vapor Deposition)Àº ÄÚÆà ±â¼úÀÇ ÀÏÁ¾À¸·Î, ¹°ÁúÀ» Áõ¹ß½ÃÄÑ ´Ù¸¥ ¹°Ã¼ÀÇ Ç¥¸é¿¡ ¾ãÀº ÃþÀ» Çü¼ºÇÏ´Â °øÁ¤ÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº °íµµÀÇ ¼øµµ¿Í ¹ÐÂø·ÂÀÌ ¶Ù¾î³ Çʸ§À» »ý¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ¾î¼ °ø±¸, ºÎÇ°, Àåºñ µîÀÇ Ç¥¸éÀ» °ÈÇϰųª ±â´É¼ºÀ» ºÎ¿©Çϱâ À§ÇØ ³Î¸® »ç¿ëµË´Ï´Ù.
Arc Áø°ø¹°¸®ÁõÂø °úÁ¤¿¡¼´Â ¾ÆÅ© Àü¿øÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ÄÚÆà Àç·á(Ÿ°Ù)¸¦ ±Øµµ·Î ³ôÀº ¿Âµµ·Î °¡¿ÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ ¶§ ¹ß»ýÇÏ´Â ¾ÆÅ© ¹æÀüÀº Ÿ°Ù Àç·áÀÇ Ç¥¸éÀ» ºü¸£°Ô ±âȽÃŵ´Ï´Ù. ±âÈµÈ Àç·á´Â Áõ±â »óÅ·Πè¹ö ³»¿¡¼ À̵¿ÇÏ´Ù°¡ ±âÁú(ÄÚÆà ´ë»ó ¹°Ã¼)ÀÇ Ç¥¸é¿¡ Ãæµ¹ÇÏ¿© ÀÀÃàµË´Ï´Ù. ÀÌ °úÁ¤À» ÅëÇØ ¸Å¿ì ¾ã°í ±ÕÀÏÇÑ ÄÚÆÃÃþÀÌ »ý¼ºµË´Ï´Ù.
Arc¸¦ ÅëÇÑ ¹æ¹ýÀº ±âÁ¸ÀÇ ¹°¸®ÁõÂøº¸´Ù ³ôÀº ÀÌ¿ÂÈÀ²À» °¡Áö°í, ÀÌ·Î ÀÎÇØ ÄÚÆÃÃþÀÇ ¹ÐÂø·Â°ú ¹Ðµµ°¡ ¸Å¿ì ³ôÀº °ÍÀÌ Æ¯Â¡ÀÔ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, °øÁ¤ Áß¿¡ ¹ß»ýÇÏ´Â °í¿¡³ÊÁö ÀÌ¿ÂÀº ±âÁú Ç¥¸éÀÇ ¹Ì¼¼ ±¸Á¶¸¦ °³¼±ÇÒ ¼öµµ ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ´Â ³»¸¶¸ð¼º, ³»½Ä¼º, ¿ ÀúÇ×·Â µîÀÇ ¹°¼ºÀ» Å©°Ô Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÇÏÁö¸¸ Arc Áø°ø¹°¸®ÁõÂøÀº ºñ±³Àû °íºñ¿ëÀÇ °øÁ¤À̸ç, Ÿ°Ù Àç·á¿¡¼ ¹ß»ýÇÏ´Â ´ëÇü ÀÔÀÚ(¸ÅÅ©·Î ÀÔÀÚ ¶Ç´Â µå·Ó¸´)·Î ÀÎÇØ ÄÚÆà ǥ¸é¿¡ °áÇÔÀÌ ¹ß»ýÇÒ ¼öµµ ÀÖ½À´Ï´Ù. À̸¦ ÇØ°áÇϱâ À§ÇÑ ´Ù¾çÇÑ ¿¬±¸¿Í ±â¼ú °³¹ßÀÌ ÁøÇà ÁßÀÔ´Ï´Ù.
ÀÚ±â¼Ò°³°¡ ¾ø½À´Ï´Ù.
Áø°øÀÇ ¼öÁØÀ» ÃøÁ¤ÇÏ´Â ¼¾¼´Â ´Ù¾çÇϸç, ÃøÁ¤ °¡´ÉÇÑ Áø°ø ¹üÀ§¿¡ µû¶ó ¼±Åõ˴ϴÙ. ¿©±â ¸î °¡Áö ÁÖ¿ä ¼¾¼ Á¾·ù¿Í ±×µéÀÌ ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹üÀ§¸¦ ¼Ò°³ÇÕ´Ï´Ù:
¿Àüµµ ¼¾¼ (Thermal Conductivity Gauge)
ÀÌ¿ÂÈ ¼¾¼ (Ionization Gauge)
¸ÆŬ·Îµå °ÔÀÌÁö (McLeod Gauge)
¼®¿µ °áÁ¤ ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ë·±½º °ÔÀÌÁö (Quartz Crystal Microbalance Gauge)
°¢°¢ÀÇ ¼¾¼´Â ƯÁ¤ ÃøÁ¤ ¹üÀ§¿¡ ÃÖÀûȵǾî ÀÖÀ¸¸ç, ¶§·Î´Â ¿©·¯ ¼¾¼¸¦ Á¶ÇÕÇÏ¿© ³ÐÀº ¹üÀ§ÀÇ Áø°øµµ¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â ½Ã½ºÅÛÀ» ±¸¼ºÇϱ⵵ ÇÕ´Ï´Ù. ¼±Åà ½Ã ƯÁ¤ ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ÇÀÇ ¿ä±¸ »çÇ×(ÃøÁ¤ ¹üÀ§, Á¤¹Ðµµ, ¹ÝÀÀ ¼Óµµ µî)¿¡ ºÎÇÕÇÏ´ÂÁö °í·ÁÇØ¾ß ÇÕ´Ï´Ù.
±î´Ù·Î¿î ±âÁúÀÇ ¾ÆÀÌ¿Í ¸¶ÂûÀÌ ¹ß»ýÇßÀ» ¶§, ¾ö¸¶´Â ´ÙÀ½°ú °°Àº ¹æ¹ýÀ¸·Î ´ëÀÀÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù:
°¨Á¤À» ÀÎÁ¤ÇØÁÖ±â: ¾ÆÀÌÀÇ °¨Á¤À» ¹«½ÃÇϰųª ºÎÁ¤ÇÏÁö ¸¶¼¼¿ä. ¾ÆÀÌÀÇ °¨Á¤À» µè°í ÀÎÁ¤ÇØ ÁÖ´Â °Í¸¸À¸·Îµµ ¾ÆÀÌ´Â ¾ÈÁ¤°¨À» ´À³¥ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î ¡°Áö±Ý ¸¹ÀÌ È³µ±¸³ª¡± ó·³ ¾ÆÀÌÀÇ °¨Á¤À» ¸íÈ®ÇÏ°Ô À̾߱âÇØÁÖ¼¼¿ä.
Â÷ºÐÇÏ°Ô ´ëÈÇϱâ: °íÁ¶µÈ °¨Á¤ »óÅ¿¡¼´Â È¿°úÀûÀÎ ¼ÒÅëÀÌ ¾î·Æ½À´Ï´Ù. °¡´ÉÇÑ Â÷ºÐÇÑ ¸ñ¼Ò¸®¿Í ŵµ·Î ¾ÆÀÌ¿Í ´ëȸ¦ ½ÃµµÇϼ¼¿ä. ¾çÂÊ ¸ðµÎ °¨Á¤ÀÌ °¡¶ó¾ÉÀ» ¶§±îÁö ±â´Ù¸° µÚ ´ëȸ¦ ½ÃÀÛÇÏ´Â °Íµµ ÁÁÀº ¹æ¹ýÀÔ´Ï´Ù.
°æûÇϱâ: ¾ÆÀÌÀÇ À̾߱⸦ ÁÖÀÇ ±í°Ô µè°í, ¾ÆÀÌ°¡ ÀÚ½ÅÀÇ ÀÇ°ßÀ» ÃæºÐÈ÷ Ç¥ÇöÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï °Ý·ÁÇϼ¼¿ä. ¾ÆÀÌÀÇ ¸»À» ³¡±îÁö µè°í ³ª¼, ÀÚ½ÅÀÇ »ý°¢À̳ª ÁöµµÇÏ°íÀÚ ÇÏ´Â ¹Ù¸¦ Àü´ÞÇÏ´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇÕ´Ï´Ù.
¹®Á¦ ÇØ°á¿¡ ÃÊÁ¡ ¸ÂÃß±â: »óȲÀ» °³¼±Çϱâ À§ÇÑ ÇØ°áÃ¥¿¡ ÁýÁßÇϼ¼¿ä. ¾ÆÀÌ¿¡°Ô ½Ç¼ö³ª ¹®Á¦¸¦ ÀÎÁ¤ÇÏ°í, ÇÔ²² ÇØ°áÃ¥À» ¸ð»öÇÏ´Â °úÁ¤¿¡¼ Ã¥ÀÓ°¨°ú ÀÚ±â ÁÖµµ¼ºÀ» ¹è¿ï ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
±àÁ¤ÀûÀÎ Çǵå¹é Á¦°øÇϱâ: ¾ÆÀÌ°¡ ¹Ù¶÷Á÷ÇÑ ÇൿÀ» º¸ÀÏ ¶§ ±àÁ¤ÀûÀÎ Çǵå¹éÀ» Àû±ØÀûÀ¸·Î Á¦°øÇϼ¼¿ä. ¾ÆÀÌ°¡ ±àÁ¤ÀûÀÎ ÇൿÀ» ÀÎÁöÇÏ°í ±×°ÍÀ» ¹Ýº¹Çϵµ·Ï µ¿±â¸¦ ºÎ¿©ÇÏ´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇÕ´Ï´Ù.
±ÔÄ¢ ¼³Á¤Çϱâ: ¸íÈ®ÇÏ°í ÀÏ°üµÈ ±ÔÄ¢À» ¼³Á¤ÇÏ´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇÕ´Ï´Ù. ¾ÆÀÌ°¡ ±â´ëÇÏ´Â ¹Ù¿Í Çã¿ëµÇ´Â ÇൿÀÇ ¹üÁÖ¸¦ ¸íÈ®È÷ ÀÌÇØÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇØÁÖ¼¼¿ä.
¸ð¹ü º¸À̱â: ºÎ¸ð´Â ¾ÆÀÌÀÇ ·Ñ¸ðµ¨ÀÔ´Ï´Ù. °¨Á¤ Á¶Àý, ÀÇ»ç¼ÒÅë ¹æ¹ý µî¿¡¼ ±àÁ¤ÀûÀÎ º»º¸±â¸¦ º¸¿©ÁÖ¼¼¿ä. ¾ÆÀÌ´Â ºÎ¸ðÀÇ ÇൿÀ» º¸°í ¹è¿ì±â ¶§¹®¿¡, ºÎ¸ð ÀÚ½ÅÀÇ ÇൿÀ» Á¡°ËÇÏ´Â °Íµµ Áß¿äÇÕ´Ï´Ù.
Àü¹®°¡ÀÇ µµ¿ò ¹Þ±â: ¶§·Î´Â Àü¹®°¡ÀÇ µµ¿òÀÌ ÇÊ¿äÇÒ ¶§µµ ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÏ»óÀûÀÎ ´ëÀÀ ¹æ¹ýÀ¸·Î ÇØ°áµÇÁö ¾Ê´Â ¹®Á¦°¡ Áö¼ÓµÈ´Ù¸é, ¾Æµ¿ ½É¸® Àü¹®°¡³ª »ó´ã ¼¾ÅÍÀÇ µµ¿òÀ» ±¸ÇÏ´Â °Íµµ °í·ÁÇغ¼ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
ºÎ¸ð¿Í ÀÚ³à »çÀÌÀÇ °¥µîÀº ÈçÇÑ ÀÏÀÌÁö¸¸, À̸¦ ÇØ°áÇÏ´Â °úÁ¤¿¡¼ ¼·ÎÀÇ ÀÌÇØ¿Í ¼ÒÅëÀÌ ±í¾îÁú ¼ö ÀÖÀ½À» ±â¾ïÇϼ¼¿ä.